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產(chǎn)品中心

Product range

產(chǎn)品系列

水洗式尾氣處理設(shè)備

產(chǎn)品用途：水洗式尾氣處理設(shè)備(Wet SCRUBBER)是一個(gè)專門處理現(xiàn)場各種制程廢氣的系統(tǒng)，在水溶解的過程中，將制程所產(chǎn)生的廢氣，反應(yīng)成溶解于水中的物質(zhì)，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務(wù)處理系統(tǒng)，所處理的廢氣，包含大部份半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體，維修保養(yǎng)的頻率少且時(shí)間短，不會影響生產(chǎn)的時(shí)程。
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